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日本HD微影設備諧波CSG-50-120-2UH

數(shù)量(臺) 價格
100 34580.00元/臺
  • 最小起訂: 1臺
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  • 訪問量:1326
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詳細參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號CSG-50-120-2UH
類型諧波減速器載荷狀態(tài)強沖擊載荷
傳動比級數(shù)單級軸的相對位置立式加速器
傳動布置形式同軸式加工定制
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
布局形式三環(huán)式用途變速機
輸入轉速1450rpm額定功率360kw
輸出轉速范圍50rpm許用扭矩1782N.m
使用范圍機械設備減速比463
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

微影光蝕刻術起源于照相制版的技術。自1970年起,日本HD微影設備諧波CSG-50-120-2UH才大量使用于半導體制程之圖形轉寫復制。原理即利用對紫外線敏感之聚合物,或所謂光阻(photo-resist)之受曝照與否,來定義該光阻在顯影液(developer)中是否被蝕除,而最終留下與遮掩罩幕,即光罩(mask)相同或明暗互補之圖形日本HD微影設備諧波CSG-50-120-2UH;相同者稱之「正光阻」(positiveresist),明暗互補者稱之「負光阻」(negativeresist),。一般而言,正光阻,如AZ-1350、AZ-5214、FD-6400L等,其分辨率及邊緣垂直度均佳,但易變質,儲存期限也較短(約半年到一年之間),常用于學術或研發(fā)單位;日本HD微影設備諧波CSG-50-120-2UH而負光阻之邊緣垂直度較差,但可儲存較久,常為半導體業(yè)界所使用。

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