菘啟工業(yè)有限公司——是溫度測量控制產(chǎn)品及高溫材料供應商，產(chǎn)品應用于航太、半導體、太陽能光伏、LED、石油化工也、汽車工業(yè)、食品業(yè)等高科技產(chǎn)業(yè)及傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)。公司依托臺灣總公司的強大研發(fā)、校驗能力；東莞的生產(chǎn)基地以及昆山的技術(shù)服務與支持，現(xiàn)已形成全方面的產(chǎn)品設計、開發(fā)、制造、校驗的系統(tǒng)方案提供商。

公司始終堅持為客戶創(chuàng)造更多價值；提供穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品；細致專業(yè)的服務，讓THERMOWAY品牌獲得業(yè)界更多的認同及尊重

THERMOWAY?RTD?WAFER?專為需要高精度溫度測量的製程所?設計，例如半導體光阻劑處理系統(tǒng)、晶圓探測器和許多其他類型?的半導體製造設備。?透過研發(fā)團隊精心整合設計帶來高量測精度和結(jié)果穩(wěn)定性，?WAFER?上的?RTD?傳感器，黏合及封裝材料，四線式電阻測量?方式是關鍵的集成元件。?

Features?l?工作溫度範圍：?-80°C?to?300°C?l?溫度點位：?1?to?160?points?l?提供校正服務?l?提供應用軟體及分析系統(tǒng)?

Applications?l?測量和記錄製程週期的晶圓溫度：裝載、升溫、穩(wěn)定狀態(tài)、冷卻和卸載。?l?提升對溫度的控制及?致性。?l?管理具有嚴格熱性能規(guī)格的生產(chǎn)流程或為?SPC?系統(tǒng)提供數(shù)據(jù)。?l?在硬體或製程研發(fā)期間優(yōu)化晶圓工藝。?l?在最終鑑定、晶圓廠啟動以及修復或升級系統(tǒng)的重新鑑定過程中對晶圓廠設備進行測試和基準測試。?

Specifications

Temperature?Range:?-80°C?to?300°C?

Wafer?Size:?6”,?8”,?12”?

Element?Type:?Thin?Film?Platinum?

Element?Resistance:?100Ω,?1000?Ω?nominal?at?0°C

?Resistance?Alpha?Value:?0.00385

?Max.?Measurement?Current:?200?μA

?Accuracy?with?Calibration?Correction:?±0.1°C?absolute?accuracy,?±0.03°C?sensor?to?sensor?accuracy?Also?available?in?customized?high?accuracy?±0.05℃?@?0℃

Resolution:?0.01°C

Type?of?Connection:?3-Wire?or?4-wire?resistance?measurement?with?common?current?source?return?

Lead?Materials:?Polyimide?coated?copper

Cable?Construction:?Polyimide?film?flat?cable?section?transitioning?to?a?silicon?rubber?round?flex?cable.?

Connection:?D-type,?high?density,?sub-miniature?with?68?pins.?

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