產(chǎn)品詳情
北儀優(yōu)成真空泵——晶圓鍍膜高效真空解決方案
?? 應(yīng)用場景
北儀優(yōu)成真空泵專為半導(dǎo)體晶圓鍍膜（PVD/CVD）工藝設(shè)計(jì)，適用于：
- 金屬鍍膜（Al、Cu、Ti等）
- 介質(zhì)層沉積（SiO?、Si?N?）
- 光刻膠涂覆前處理
- 離子注入輔助真空
確保鍍膜均勻性、附著力及低缺陷率，滿足5nm以下先進(jìn)制程的嚴(yán)苛要求。
? 產(chǎn)品特點(diǎn)
1.超高真空度
- 極限真空達(dá)10?? Pa（根據(jù)實(shí)際參數(shù)調(diào)整），快速抽除腔體氣體，減少鍍膜前準(zhǔn)備時(shí)間。
2. 無油潔凈設(shè)計(jì)
- 干式泵或分子泵方案可選，杜絕油蒸氣污染，保障晶圓表面零顆粒殘留。
3. 精準(zhǔn)壓力控制
- 配備PID調(diào)節(jié)系統(tǒng)，真空度波動(dòng)范圍≤±1%，確保鍍膜厚度一致性。
4. 抗腐蝕處理
- 泵腔與鍍膜工藝氣體（如Cl?、SF?）兼容，特殊涂層延長關(guān)鍵部件壽命。
?? 核心優(yōu)勢
對比項(xiàng)
北儀優(yōu)成真空泵
普通真空泵
真空穩(wěn)定性
智能反饋控制，波動(dòng)<1%
手動(dòng)調(diào)節(jié)，波動(dòng)≥5%
潔凈度
全無油設(shè)計(jì)，ISO 1級(jí)
油潤滑，存在污染風(fēng)險(xiǎn)
維護(hù)周期
連續(xù)運(yùn)行6個(gè)月免維護(hù)
每月需更換濾芯/油
能耗
變頻驅(qū)動(dòng)節(jié)能30%
定頻運(yùn)行，能耗高
?? 成功案例
某國際半導(dǎo)體代工廠
- 需求：提升12英寸晶圓銅鍍膜良品率，解決傳統(tǒng)泵顆粒污染問題。
- 方案：定制北儀優(yōu)成干式螺桿泵+分子泵組，集成原位清洗功能。
- 效果：
- 鍍膜缺陷率下降 72%（從500ppm→140ppm）；
- 抽氣速度提升 40%，單批次產(chǎn)能增加；
- 獲客戶“設(shè)備供應(yīng)商”認(rèn)證。
北儀優(yōu)成真空泵通過超高真空、零污染、長壽命三大特性，成為晶圓鍍膜工藝的可靠選擇：
- 降低生產(chǎn)成本：減少維護(hù)頻次與廢品率；
-提升技術(shù)指標(biāo)：滿足先進(jìn)制程對真空環(huán)境的要求；
- 靈活適配：支持與AMAT、Lam Research等主流鍍膜設(shè)備配套。
