產(chǎn)品詳情
應(yīng)用場(chǎng)景
在半導(dǎo)體制造的核心環(huán)節(jié)（如晶圓蝕刻、離子注入、化學(xué)機(jī)械拋光（CMP））中，真空泵需24小時(shí)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)以維持工藝腔室的穩(wěn)定真空環(huán)境。傳統(tǒng)真空泵因腐蝕性氣體侵蝕、高溫油品劣化等問(wèn)題，常導(dǎo)致突發(fā)性停機(jī)，引發(fā)設(shè)備宕機(jī)、晶圓報(bào)廢、產(chǎn)能損失等連鎖問(wèn)題，嚴(yán)重時(shí)單次停機(jī)損失高達(dá)數(shù)十萬(wàn)元。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 全密封抗腐蝕設(shè)計(jì)
- IP55防護(hù)等級(jí)：軸承與電機(jī)采用全密封結(jié)構(gòu)，抵御酸性/堿性工藝氣體（如Cl?、CF?）腐蝕，壽命提升3倍。
- 特種合金轉(zhuǎn)子：表面碳化鎢涂層，硬度達(dá)HV1500，抗顆粒磨損性能提升80%。
2. 智能預(yù)維護(hù)系統(tǒng)
- 多參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)：內(nèi)置傳感器實(shí)時(shí)采集油溫（±1℃精度）、振動(dòng)（0.1mm/s分辨率）、油位數(shù)據(jù)，異常狀態(tài)提前48小時(shí)預(yù)警。
- 云端遠(yuǎn)程診斷**：通過(guò)IoT模塊上傳運(yùn)行數(shù)據(jù)至普旭運(yùn)維平臺(tái)，自動(dòng)生成維護(hù)建議，減少人工巡檢成本。
性能參數(shù)
指標(biāo)
普旭油式真空泵
行業(yè)常規(guī)泵
MTBF（平均無(wú)故障時(shí)間）
≥20000小時(shí)
5000~8000小時(shí)
維護(hù)周期
6000小時(shí)/次
2000小時(shí)/次
振動(dòng)值
＜2.8mm/s（ISO 10816-3）
＞5.0mm/s
耐腐蝕氣體濃度
≤1000ppm Cl?
≤300ppm Cl?
? 連續(xù)運(yùn)行保障：某12英寸晶圓廠替換普旭泵后，年停機(jī)時(shí)間從120小時(shí)降至18小時(shí)，產(chǎn)能損失減少85%。
? 運(yùn)維成本優(yōu)化：潤(rùn)滑油更換頻率從每月1次延長(zhǎng)至每季度1次，年維護(hù)成本節(jié)省超￥50萬(wàn)元。
? 工藝穩(wěn)定性提升：真空壓力波動(dòng)控制在±0.3%以內(nèi)，晶圓關(guān)鍵尺寸（CD）均勻性提升0.5nm。
普旭油式真空泵通過(guò)全密封抗腐蝕設(shè)計(jì)與智能化預(yù)維護(hù)系統(tǒng)，徹底解決半導(dǎo)體制造中真空泵頻繁停機(jī)的行業(yè)難題，實(shí)現(xiàn)20000小時(shí)無(wú)故障運(yùn)行的行業(yè)標(biāo)桿性能。其高可靠性不僅保障了晶圓廠連續(xù)生產(chǎn)需求，更通過(guò)降低維護(hù)成本與工藝缺陷率，助力企業(yè)提升產(chǎn)能利用率與產(chǎn)品良率，成為高端半導(dǎo)體制造的真空系統(tǒng)。
