產(chǎn)品詳情
日本樫山kashiyama 真空泵 MU系列
無油潔凈：采用無油運轉(zhuǎn)設(shè)計，通過精密嚙合轉(zhuǎn)子實現(xiàn)氣體壓縮，全程無潤滑油，避免油蒸氣污染，可確保工藝腔體潔凈無殘留，適合敏感工藝如晶圓加工。
抽氣性能優(yōu)越：抽速范圍廣，從較小抽速到較大抽速的型號都有，如 MU1200XE 最大抽速可達 20,000L/min。極限壓力低，可達 0.1Pa 甚至更低。能快速有效地抽取氣體，滿足不同應(yīng)用場景的真空需求，可在短時間內(nèi)將真空腔室抽到所需的真空度。
節(jié)能環(huán)保：配備低功耗電機，運行能效比優(yōu)于同類產(chǎn)品，降低了能耗與運行成本。同時采用變頻驅(qū)動（VFD）調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，可根據(jù)實際需求調(diào)整抽氣速度，進一步節(jié)能，能耗較油封泵可降低 30%-50%。
結(jié)構(gòu)緊湊：尺寸相對較小，如 MU1200XE 尺寸為 625×275×580mm，重量約 165kg，占地面積小，便于安裝在空間有限的設(shè)備中，適合設(shè)備集成和改造項目，可靈活安裝在各種生產(chǎn)線上，不占用過多空間。
維護便捷：采用模塊化結(jié)構(gòu)，檢修流程簡單，無需復(fù)雜的拆卸和組裝過程，可降低維護成本和停機時間。維護人員可快速定位和更換故障模塊，減少設(shè)備停機維修時間，提高設(shè)備利用率。
運行穩(wěn)定：摩擦部件少，可承受連續(xù)運轉(zhuǎn)，不易出現(xiàn)故障。且噪音低、振動小，連續(xù)排氣無脈動，能為工作環(huán)境提供較好的條件，減少對工作場所的噪音污染和振動干擾。
智能控制：具有實時參數(shù)顯示功能，可通過觸摸屏或遠程接口（Modbus / 以太網(wǎng)）輸出真空度、溫度、功耗等數(shù)據(jù)。還配備自診斷系統(tǒng)，通過振動、溫度傳感器對異常情況（如過載或異物進入）進行預(yù)警，并自動停機保護，方便操作人員實時監(jiān)控設(shè)備運行狀態(tài)，及時發(fā)現(xiàn)和處理問題。
主要型號及參數(shù)
常見型號：包括 MU100PE/HE、MU300PE/HE、MU600PE/HE、MU1200XE、MU1800E、MU3000 等。
電源電壓：通常為三相 AC200 - 220V，50/60Hz。
外形尺寸：以 MU100PE/HE 為例，外形尺寸為 630×350×360mm；MU300PE/HE 的外形尺寸為 630×350×520mm。
日本樫山kashiyama 真空泵 MU系列
日本樫山kashiyama 真空泵 MU系列
產(chǎn)品特點
無油潔凈：采用無油運轉(zhuǎn)設(shè)計，通過精密嚙合轉(zhuǎn)子實現(xiàn)氣體壓縮，全程無潤滑油，避免油蒸氣污染，可確保工藝腔體潔凈無殘留，適合敏感工藝如晶圓加工。
抽氣性能優(yōu)越：抽速范圍廣，從較小抽速到較大抽速的型號都有，如 MU1200XE 最大抽速可達 20,000L/min。極限壓力低，可達 0.1Pa 甚至更低。能快速有效地抽取氣體，滿足不同應(yīng)用場景的真空需求，可在短時間內(nèi)將真空腔室抽到所需的真空度。
節(jié)能環(huán)保：配備低功耗電機，運行能效比優(yōu)于同類產(chǎn)品，降低了能耗與運行成本。同時采用變頻驅(qū)動（VFD）調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，可根據(jù)實際需求調(diào)整抽氣速度，進一步節(jié)能，能耗較油封泵可降低 30%-50%。
結(jié)構(gòu)緊湊：尺寸相對較小，如 MU1200XE 尺寸為 625×275×580mm，重量約 165kg，占地面積小，便于安裝在空間有限的設(shè)備中，適合設(shè)備集成和改造項目，可靈活安裝在各種生產(chǎn)線上，不占用過多空間。
維護便捷：采用模塊化結(jié)構(gòu)，檢修流程簡單，無需復(fù)雜的拆卸和組裝過程，可降低維護成本和停機時間。維護人員可快速定位和更換故障模塊，減少設(shè)備停機維修時間，提高設(shè)備利用率。
運行穩(wěn)定：摩擦部件少，可承受連續(xù)運轉(zhuǎn)，不易出現(xiàn)故障。且噪音低、振動小，連續(xù)排氣無脈動，能為工作環(huán)境提供較好的條件，減少對工作場所的噪音污染和振動干擾。
智能控制：具有實時參數(shù)顯示功能，可通過觸摸屏或遠程接口（Modbus / 以太網(wǎng)）輸出真空度、溫度、功耗等數(shù)據(jù)。還配備自診斷系統(tǒng)，通過振動、溫度傳感器對異常情況（如過載或異物進入）進行預(yù)警，并自動停機保護，方便操作人員實時監(jiān)控設(shè)備運行狀態(tài)，及時發(fā)現(xiàn)和處理問題。
主要型號及參數(shù)
常見型號：包括 MU100PE/HE、MU300PE/HE、MU600PE/HE、MU1200XE、MU1800E、MU3000 等。
電源電壓：通常為三相 AC200 - 220V，50/60Hz。
外形尺寸：以 MU100PE/HE 為例，外形尺寸為 630×350×360mm；MU300PE/HE 的外形尺寸為 630×350×520mm。
