主營產(chǎn)品：上海諧波減速機|哈默納科|harmonic|NIKUNI|山洋
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| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號 | CSG-45-160-2UH |
| 類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態(tài) | 強沖擊載荷 |
| 傳動比級數(shù) | 雙級 | 軸的相對位置 | 立式加速器 |
| 傳動布置形式 | 擺線式 | 加工定制 | 否 |
| 樣品或現(xiàn)貨 | 樣品 | 齒面硬度 | 軟齒面 |
| 布局形式 | 三環(huán)式 | 用途 | 減速機 |
| 輸入轉(zhuǎn)速 | 3000rpm | 額定功率 | 360kw |
| 輸出轉(zhuǎn)速范圍 | 50rpm | 許用扭矩 | 691N.m |
| 使用范圍 | 工業(yè) | 減速比 | 242 |
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
有機物雜質(zhì)在IC制程中以多種形式存在，如人的皮膚油脂、harmonic精密清洗諧波CSG-45-160-2UH 凈化室空氣、機械油、硅樹脂真空脂、光致抗蝕劑、清洗溶劑等。每種污染物對IC 制程都有不同程度的影響，通常在晶片表面形成有機物薄膜阻止清洗液到達晶片表面。因此有機物的去除常常在清洗工序的第harmonic精密清洗諧波CSG-45-160-2UH一步進行。
2.3 金屬污染物
IC電路制造過程中采用金屬互連材料將各個獨立的器件連接起來，首先采用光刻、蝕刻的方法在絕緣層上制作接觸窗口，再利用蒸發(fā)、濺射或化學(xué)汽相沉積（CVD）形成金屬互連膜，如Al-Si，Cu等，通過harmonic精密清洗諧波CSG-45-160-2UH蝕刻產(chǎn)生互連線，然后對沉積介質(zhì)層進行化學(xué)機械拋光（CMP）。
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