產(chǎn)品詳情
安捷倫41501B：半導(dǎo)體參數(shù)分析專用模塊
產(chǎn)品描述
安捷倫41501B是Keysight（原安捷倫）4155C/4156C半導(dǎo)體參數(shù)分析儀的專業(yè)擴展模塊，專為精密直流參數(shù)測試而設(shè)計。該模塊通過擴展主機測試通道，為晶圓級測試（Wafer-level Testing）和器件特性分析提供完整的解決方案。其模塊化設(shè)計支持多通道并行測量，顯著提升晶圓測試效率，是半導(dǎo)體制造與研發(fā)領(lǐng)域的關(guān)鍵測試裝備。
產(chǎn)品特點
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通道擴展能力：單模塊提供多路SMU（源測量單元）通道，支持多站點并行測試
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精密測量性能：具備fA級電流測量分辨率與μV級電壓精度
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晶圓測試優(yōu)化：兼容探針臺集成，支持自動化晶圓映射測試
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專業(yè)分析軟件：搭配IC-CAP建模軟件，支持器件模型參數(shù)提取
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溫度特性分析：支持-55°C至+150°C溫度范圍內(nèi)的器件特性測試
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技術(shù)屬性
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通道配置：支持多路SMU/MCU/VSRC單元擴展
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電流測量范圍：fA級至100mA
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電壓測量精度：±(0.05%+100μV)
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兼容主機：4155C/4156C半導(dǎo)體參數(shù)分析儀
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接口類型：專用擴展接口
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測量模式：支持直流I-V、C-V、脈沖I-V測試
深圳市寶安區(qū)沙井方豐瑞儀器設(shè)備經(jīng)營部
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