產(chǎn)品詳情
氦氣檢漏儀
品牌：德國Inficon
型號：UL1000Fab
Infincon UL 1000 Fab氦氣撿漏儀是工業(yè)或半導(dǎo)體環(huán)境中經(jīng)濟型氦氣真空檢漏的著名標(biāo)準(zhǔn)。通過儀器的干泵技術(shù)，可以消除被測試部件或設(shè)備受到碳?xì)浠衔锘蝾w粒的潛在污染。UL1000 Fab在高性能、高穩(wěn)健性和可負(fù)擔(dān)性之間提供了折中。
優(yōu)勢：
通過快速泵降和響應(yīng)時間，最大限度地減少泄漏測試工作；通過使用可選擇的背景抑制來避免需要多次泄漏測試；通過可操作的設(shè)計，可以輕松進入空間有限的維修區(qū)域；低總擁有成本（TCO）由強大的兩個熱絲離子源和逆流真空系統(tǒng)實現(xiàn)；易于使用，可旋轉(zhuǎn)顯示，光學(xué)和聽覺泄漏指示，和可選的遙控器；通過內(nèi)置測試泄漏與自動校準(zhǔn)程序?qū)崿F(xiàn)低維護。
典型應(yīng)用：
對潔凈度要求較高的工業(yè)真空設(shè)備制造；在將組件或組件安裝在現(xiàn)有工具中之前對其進行真空處理；真空工具的維護工作，有或沒有自己的泵的支持；過程氣體系統(tǒng)的檢查和安裝；半導(dǎo)體、平板顯示器或太陽能電池制造。
技術(shù)參數(shù)：
最小檢測的泄漏率（真空模式）：＜5×10-12 mbar·I/S
最小檢測的泄漏率（嗅探器模式）：＜5×10-8 mbar·I/S
最大進口壓力；15 mbar
疏散時的抽速：25m3/h
氦在入口出的抽速（ULTRA模式）：2.5l/s
可檢測的質(zhì)量（ULTRATEST傳感器技術(shù)）：2, 3, 4（H2, 3He, He）
供應(yīng)電壓：100-120 V；220-240 V
重量：110kg
尺寸（含把手）：1068*525*850mm（42*21*33）
