產品詳情
SB系列的特點
高精度
我們以高精度測量和分配光刻膠和其他化學溶液。 為了優(yōu)化光刻膠滴落量,提高了每次注射的分配精度,并安裝了回吸(可選)以防止光刻膠從放電端掉出。
波紋管內部的死體積非常小,該結構可防止液體停滯。 無密封結構和低速氣缸的使用使光刻膠能夠低速注入光刻膠并防止空氣進入光刻膠。
輕巧緊湊的設計
該泵可以以立式或臥式方式安裝(SB-4K/5/6除外),并且可以選擇佳形狀進行系統(tǒng)集成。 緊湊的設計還為外圍設備釋放了空間。
此外,還提供帶有機械塞子的氣瓶,該氣缸可通過單個泵控制細微的排放量,以及帶有傳感器的氣瓶,該傳感器可以可靠地檢查操作。
不銹鋼和含氟聚合物
不銹鋼(SUS304)和氟樹脂(PTFE、PFA)類型可作為接液材料。 它具有優(yōu)異的耐腐蝕性,不會污染液體,并且對于高分辨率、高純度的光刻膠等液體質量控制是安全的。


