產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品名稱：SWAGELOK-隔膜閥-ALD3
產(chǎn)品型號：ALD3
產(chǎn)品介紹：高純度 ALD3 和 ALD6 閥旨在為半導體制造商提供可靠、高速的前體氣體計量，用于在沉積室中逐層構建微芯片。高純 ALD3 和 ALD6 閥門可設置為常閉和常開氣動驅動，它們有多種配置可供選擇，包括兩端口直管和彎管設計；二通、三通和四通多通閥和多閥歧管；以及 1.125 英寸（限 ALD3 系列）和 1.5 英寸平臺中的二端口和三端口模塊化表面安裝閥。可用的熱致動器、位置傳感器、螺線管和可選的用于容納加熱器筒的主體孔都可以根據(jù)用戶的特定過程為用戶提供額外的價值。
性能特點：
具有高速驅動的高循環(huán)壽命
流量系數(shù)范圍從 0.27 到 0.62，可提供自定義流量系數(shù)
使用可選的熱致動器可完全浸入高達 392°F (200°C) 的溫度
適用于采用標準 316L VIM-VAR 不銹鋼閥體的高純度應用
模塊化表面安裝、管對接焊和 VCR端接
電子或光學致動器位置感應選項
ALD3 和 ALD6 隔膜由鈷基高溫合金材料組成，具有強度和耐腐蝕性；閥體由 316L VIM-VAR 不銹鋼制成，適用于高純應用；閥座由全氟化高純度 PFA 組成，具有廣泛的化學兼容性和抗溶脹性和抗污染性。
選型指南：
產(chǎn)品結構與細節(jié)：
可選配置：
產(chǎn)品尺寸：
產(chǎn)品應用：
參數(shù)：
上海連航機電科技有限公司是國內的進口機電產(chǎn)品與技術集成服務商。公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應進口備品備件，提供過程控制技術詢問，工業(yè)自動化集成設計與改造，成套設備與技術引進等工業(yè)技術應用及產(chǎn)品供應服務。為緊跟工業(yè)科技發(fā)展步伐，連航分別在德國和美國設立了公司和倉儲中心，一舉鞏固了采購能力，擴大了由工廠直采加產(chǎn)品集散帶來的二度成本優(yōu)勢，進而提升了終端服務效率與水平?？蛻魪V泛分布于全國各大地區(qū)與行業(yè)，主要有：汽車制造、機械設備制造、電力、石化、采礦、鋼鐵、有色金屬、電氣儀表制造、食品飲料、橡膠制品、醫(yī)藥生產(chǎn)、造紙、紡織、印刷、水泥、玻璃、環(huán)境設備、軍需工業(yè)等。
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