產(chǎn)品詳情
輝光等效等離子PECVD系統(tǒng)
微行爐業(yè)公司研制的PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光均勻等效,這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。其優(yōu)勢有沉積溫度低,沉積速率快,成膜質(zhì)量好,針孔較少,不易龜裂等。
輝光等效等離子PECVD系統(tǒng)由管式爐,真空機(jī)組分子泵或機(jī)械泵,多通道氣路系統(tǒng)這三部分組成,成套出售,根據(jù)客戶要求定制,有需要的來電咨詢索取相關(guān)產(chǎn)品資料及報(bào)價(jià),24小時(shí)業(yè)務(wù)專線:15026959022


