主營產(chǎn)品：擴散爐.鏈?zhǔn)綘t.隧道爐.馬弗爐.爐體
15314229122（業(yè)務(wù)員）
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| 數(shù)量(臺) | 價格 |
| 1 | 10000元/臺 |
￥面議
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￥1.00
| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 福潤德 | 規(guī)格型號 | 完善 |
| 編號 | 齊全 | 計量單位 | 1臺 |
| 付款方式 | 面議 | 參考價格 | 10000 |
| 價格單位 | 人民幣 | 供貨量 | 不限 |
| 說明書，報價手冊及驅(qū)動 | 暫無相關(guān)下載 | 其他資料下載 | 暫無相關(guān)下載 |
| 產(chǎn)地 | 青島 | 發(fā)貨地 | 青島 |
太陽能擴散爐主要滿足光伏電池生產(chǎn)線對多晶硅、單晶硅硅片進行擴散工藝。目前有第二代閉管擴散爐和第三代軟著陸擴散爐。
擴散爐技術(shù)指標(biāo)：
t可處理硅片尺寸：212英寸
t外型形式：臥式14管結(jié)構(gòu)
t工作溫度：200℃1300℃
t恒溫區(qū)長度及精度：200mm1100mm≤±0.5℃
t單點溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性： ≤±1℃/24h
t溫度斜變： 可控升溫速率15℃／min
t可控降溫速率： 5℃／min
t送片裝置：全自動懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟
t氣路系統(tǒng)：15路工藝氣體／管
t氣體控制：全自動MFC
t控制方式：工控機、觸摸屏
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