在高端電子制造、半導體封裝以及精密材料處理領域，真空等離子清洗設備已成為提升產品良率與工藝可靠性的關鍵裝備。然而，不少用戶在使用過程中常有一個疑問：真空等離子清洗設備的正極板是否可以直接放置待處理產品? 本文將圍繞寒武紀技術(蘇州)有限公司的真空等離子清洗設備，深入解析這一問題，并結合其設備結構、電極設計原理及實際應用場景，為讀者提供權威、專業(yè)的解答。

  一、正極板能否放置產品?需看電極結構設計

  首先需要明確的是，在真空等離子清洗設備中，“正極板”并非一個標準術語，而是用戶對“電極板”的通俗稱呼。實際上，真空等離子清洗機中的電極通常采用射頻(RF)激發(fā)方式，由一對或多對金屬電極構成放電區(qū)域，其中一方連接射頻電源(通常視為“負極”)，另一方接地(可理解為“正極”或參考地)。

  在寒武紀技術的設備中，如Aurora-1002系列和PS-1200L水平式機型，電極結構多采用平板式、垂直式或組合式布局，其核心目標是實現(xiàn)等離子體均勻分布并確保產品表面處理一致性8。根據(jù)設備設計規(guī)范，產品一般不直接放置在連接射頻電源的電極上，而應置于接地電極或專用托架/治具之上。這是因為：射頻電極存在高電壓波動，若產品直接接觸可能引發(fā)電弧或局部過熱;接地電極電位穩(wěn)定，更適合承載產品，避免損傷敏感元器件;寒武紀設備普遍采用獨立冷卻電極+托盤系統(tǒng)，支持50×50mm至1120×1040mm多種規(guī)格板材批量處理，產品通過治具固定于電極之間，而非直接貼附電極表面。因此，嚴格來說，用戶不應將產品隨意放置在“正極板”(即射頻電極)上，而應遵循設備操作手冊，使用配套治具或放置于接地層。

  二、寒武紀設備如何保障產品安全與處理均勻性?

  寒武紀技術的真空等離子清洗設備在電極設計上充分考慮了產品兼容性與工藝安全性。以PS-1200L為例，其采用14片獨立冷卻電極+13層超大料盤結構，單批次可處理52張530×510mm板材，電極間距可調，確保等離子體在腔體內均勻布。同時，設備配備：高精度PLC+HMI控制系統(tǒng)，實時監(jiān)控真空度、氣體流量、射頻功率等參數(shù);四路氣體流量控制器(精度±0.01%)，支持O?、N?、Ar、CF?等多種工藝氣體靈活配置;極限真空<4Pa，有效隔絕空氣水分與顆粒污染，避免二次污染。這些設計不僅提升了處理效果的重復性，也從根本上規(guī)避了因電極誤用導致的產品損傷風險。此外，在IC封裝等高可靠性場景中，寒武紀的在線式真空等離子清洗機更采用連續(xù)進料設計，產品通過傳送機構自動進入處理區(qū)，全程無需人工干預，進一步杜絕了電極接觸不當?shù)膯栴}。

  三、正確放置產品，才能發(fā)揮等離子清洗最大效能

  等離子清洗的核心在于表面活化與污染物去除。若產品放置位置不當，可能導致：等離子體覆蓋不均，部分區(qū)域未被有效處理;電場集中引發(fā)局部刻蝕過度，損傷微細結構(如TSV、Micro-Bump);溫度失控影響熱敏材料性能。寒武紀技術建議用戶：使用原廠治具或定制托盤，確保產品與電極保持安全距離;避免金屬部件直接接觸射頻電極，防止打火;遵循工藝參數(shù)設定，如處理時間0.5–5分鐘、功率500–1500W等，依據(jù)材料類型調整12。實踐表明，經(jīng)寒武紀設備處理后，銅焊盤接觸角可降至10°以下，鍵合強度提升20%以上，這正是科學放置+精準控制共同作用的結果。

  四、結語：專業(yè)設備，需專業(yè)使用

  真空等離子清洗設備不是“隨便放進去就能洗”的工具，其效能高度依賴于正確的操作與合理的工裝設計。寒武紀技術憑借模塊化電極結構、智能控制系統(tǒng)與深厚工藝積累，為用戶提供安全、高效、可重復的表面處理解決方案。正極板(射頻電極)不可直接放置產品，這是保障設備壽命與工藝質量的基本原則。選擇寒武紀，不僅是選擇一臺設備，更是接入一套覆蓋研發(fā)、生產、售后的全生命周期技術生態(tài)12。唯有規(guī)范操作，方能釋放等離子清洗的真正價值。