產(chǎn)品詳情
特氣柜是專門為了應對腐性和毒性等危險氣體供應而設計出來的一種供氣系統(tǒng)。主要用于半導體和LED的新興行業(yè)。
Gastech ® GC
■ 此產(chǎn)品廣泛應用于半導體和電子工業(yè)、醫(yī)療、基因技術、生物制藥、科研等領域。
■ GC(特殊氣體供氣柜)專業(yè)用于易燃易爆、毒腐等危險氣體的輸送。
■ 不干預全自動控制是GC滿足行業(yè)特性的基本配置要求
產(chǎn)品特性
■ 主柜體全部采用烤漆防爆機柜，防爆鋼化玻璃觀察視窗。
■ 主體閥門管件主要采用SUS 316材質不銹鋼，抗壓、耐腐蝕性、超純度極好。
■ 主體閥門管件全部來自國際一線品牌。
■ 全自動吹掃、抽真空、保壓測漏。
■ 全自動更換鋼瓶供氣模式。
■ 緊急制動模式。
■ 盤面100%經(jīng)過He檢漏、Moisture、O2、Particle檢測。
標準配置
■ 三菱PLC自動化控制模塊
■ Pro-face全觸摸屏智能化操作控制，兩級加密防止誤操作。
■ 3D動態(tài)處理流程實時顯示。
■ 美國APtech Parker等一線品牌調壓閥
■ 富士金 TK等管組件
■ Wika NKS等壓力偵測傳感器
■ 美國Swagelok全自動軌道M200系統(tǒng)焊接。
■ 維修窗口配置，方便維護和二次擴展。
■ 具備一個預留擴充點。
■ 緊急切斷功能,事故報警功能等。
■ 用戶深度定制：單瓶、雙瓶乃至三瓶。
