產(chǎn)品詳情
使用4200A-SCS加快半導(dǎo)體設(shè)備、材料和工藝開(kāi)發(fā)的探索、可靠性和故障分析研究。業(yè)內(nèi)性能參數(shù)分析儀,提供
同步電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)和超快脈沖I-V測(cè)量。
4200A-SCS是一種可以量身定制、全面集成的參數(shù)分析儀,可以同步查看電流電壓,電容電壓和超快脈沖特性。
作為性能高的參數(shù)分析儀,加快了半導(dǎo)體,材料,工藝開(kāi)發(fā)的速度。
ClariusTM基于GUI的軟件提供了清楚的,不折不扣的測(cè)量和分析儀功能。憑借嵌入式測(cè)量知識(shí)和數(shù)百項(xiàng)隨時(shí)可以投入使用的應(yīng)用測(cè)試
Clarius Software可以更深入的挖掘研究過(guò)程,而滿懷信心。
可以根據(jù)不同客戶需求靈活配置,不管是現(xiàn)在還是在未來(lái),都可以隨時(shí)對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行升級(jí)。通往發(fā)現(xiàn)之旅現(xiàn)在變得異常簡(jiǎn)便。
主要性能指標(biāo):
I-V源測(cè)量單元(SMU)
210V/100mA或者210V/1A模塊
100fA測(cè)量分辨率
選配錢端放大器提供了10aA測(cè)量分辨率
100mHZ-10HZ頻率電容測(cè)試
四象限操作
2線或4線連接
C-V多頻率電容單元(CVU)
AC阻抗測(cè)量(C-V,C-F,C-T)
1kHZ-10mHZ頻率范圍
30V(60V差分)內(nèi)置DC偏置源,可以擴(kuò)展到210V(420差分)
選配CVIV多通道開(kāi)關(guān),在I-V測(cè)量和C-V測(cè)量之間簡(jiǎn)便切換脈沖式I-V超脈沖測(cè)量單元(PMU)
兩個(gè)立的或者同步的高速脈沖I-V源和測(cè)量通道
200MSa/s,5ns采樣率
40V(80V p-p),800MA
瞬態(tài)波形捕獲模式
任意波形發(fā)生器Segment ARB@模式,支持多電平脈沖波形,10Ns可編程分辨率
高壓脈沖發(fā)生器單元(PGU)
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鄧:135-1015-2816(v同)
彭:158-1859-4082(v同)


