產(chǎn)品詳情
Piezoconcept 雙軸納米定位器LFHS2
品牌簡介:
雙軸超高速納米定位器，具有66毫米x 66mm毫米的大孔徑。
可與集成Z軸(50米行程范圍)結(jié)合使用。
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產(chǎn)品簡介
LFHS2是一款2軸超高速納米精密定位器，沿X和Y方向的行程范圍可達75米，具有66毫米x 66mm毫米的大孔徑，兩軸的諧振頻率均高于2kHz。如果需要，它還可以與集成的Z軸(50米行程范圍)一起使用(參見3軸型號LFHS3).
這種壓電載物臺可以與粗定位微載物臺結(jié)合使用(參見我們的混合系統(tǒng)).
這種納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分(高功率控制器可用)。利用高功率控制器，高速掃描和短于2毫秒的階躍響應(yīng)時間是可能的。
產(chǎn)品參數(shù):
產(chǎn)品參數(shù)：
運動范圍（um）:30
分辨率（nm）:0.03
噪聲下限（nm典型值）0.003
重復性（nm）:0.06
線性化（典型值共振頻率（Hz）:0.02%
線性化:0.02%
剛度（N/um）0.6
傳感器尺寸Wx L x H（mm）:120.8x120.7x28.5
材料電纜長度（m）:2
控制器最大負載:1
水平使用垂直使用:0.5
諧振頻率XY（Hz）:3000/2000
剛度XY（N/um）:4/3
產(chǎn)品圖紙:
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