產(chǎn)品詳情
在半導(dǎo)體原子層沉積（ALD）工藝中，真空泵需高頻次在真空與進(jìn)氣狀態(tài)間切換，以精確控制單原子層沉積。傳統(tǒng)真空泵因持續(xù)全功率運(yùn)行及無(wú)效熱能浪費(fèi)，導(dǎo)致能耗居高不下，成為ALD設(shè)備綜合成本攀升的主因之一。普旭油式真空泵通過(guò)智能變頻與熱能回收技術(shù)，顯著降低能耗，助力半導(dǎo)體企業(yè)實(shí)現(xiàn)綠色制造。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 變頻動(dòng)態(tài)調(diào)功技術(shù)
- 根據(jù)ALD工藝周期（如抽真空-前驅(qū)體注入-吹掃）自動(dòng)調(diào)節(jié)功率，待機(jī)功耗僅需額定功率的15%，較定頻泵能耗降低30%。
- 支持0.1秒級(jí)響應(yīng)速度，確保腔室壓力波動(dòng)≤±0.8%，保障膜厚均勻性（±1.5%以內(nèi)）。
2.熱能循環(huán)利用系統(tǒng)
- 內(nèi)置油路換熱器，將真空泵運(yùn)行產(chǎn)生的廢熱（油溫70~90℃）回收，用于預(yù)熱工藝氣體，減少外圍加熱模塊能耗達(dá)20%。
- 油溫智能PID控制（±2℃精度），避免高溫導(dǎo)致潤(rùn)滑油劣化。
3. 低殘油污染設(shè)計(jì)
- 采用**三級(jí)油霧過(guò)濾系統(tǒng)**（機(jī)械離心+靜電吸附+HEPA），油蒸氣殘留量＜0.005mg/m3，避免前驅(qū)體污染，提升薄膜純度。
性能參數(shù)對(duì)比
核心優(yōu)勢(shì)
指標(biāo)
普旭油式真空泵
競(jìng)品A（干泵）
競(jìng)品B（傳統(tǒng)油泵）
額定功率
7.5kW
10kW
9kW
年綜合電耗
￥6.2萬(wàn)（10萬(wàn)小時(shí)）
￥8.4萬(wàn)
￥7.8萬(wàn)
熱能回收效率
≥75%
無(wú)此功能
無(wú)此功能
維護(hù)成本（年/臺(tái)）
￥1.5萬(wàn)
￥3.8萬(wàn)
￥2.6萬(wàn)
? 工藝穩(wěn)定性提升：壓力波動(dòng)減少40%，薄膜均勻性達(dá)±1.2%（競(jìng)品平均±2.5%）。
? 長(zhǎng)壽命設(shè)計(jì)：潤(rùn)滑油更換周期延長(zhǎng)至8000小時(shí)，維護(hù)頻率降低60%。
普旭油式真空泵通過(guò)變頻動(dòng)態(tài)調(diào)功與熱能循環(huán)利用兩大核心技術(shù)，在ALD工藝中實(shí)現(xiàn)能效跨越式突破，綜合能耗較競(jìng)品降低26%。其高精度壓力控制與超低殘油污染特性，不僅滿足先進(jìn)半導(dǎo)體器件對(duì)薄膜質(zhì)量的嚴(yán)苛要求，更通過(guò)節(jié)能降耗助力企業(yè)達(dá)成碳中和目標(biāo)。隨著ALD技術(shù)在邏輯芯片、存儲(chǔ)器件及功率半導(dǎo)體領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，普旭真空泵將成為半導(dǎo)體設(shè)備廠商提升市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵伙伴。
