主營產(chǎn)品：擴散爐 真空焊接爐 真空爐 隧道式燒結(jié)爐 退火爐
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| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 晨立 | 型號 | CL4512 |
| 自動化程度 | 自動 | 加工定制 | 是 |
| 外形尺寸 | 其他 | ||
用途：
? 主要用于各大高校、硅材料實驗室、及微電子專業(yè)對半導體6寸及以下硅片的高溫擴散、氧化（濕氧）、退火、燒結(jié)合金工藝的教學和實驗工作。
1.1、工作溫度：400-1300℃
1.2、恒溫區(qū)長度及精度： 300mm ?/±0.5℃（可選）
1.3、爐管數(shù)：一、二、三、四管（可選）
1.4、適應硅片尺寸： 6寸及向下兼容
1.5、送取片方式：自動或手動（可選）
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