產(chǎn)品詳情
愛德華渦輪分子泵：10?1? mbar超高真空，賦能EUV光刻與量子計(jì)算
性能特點(diǎn)與核心優(yōu)勢(shì)
1. 極限真空性能
- 10?1? mbar超高真空：愛德華EXT系列采用先進(jìn)渦輪分子泵技術(shù)，突破傳統(tǒng)真空極限，為EUV光刻機(jī)、量子計(jì)算機(jī)等尖端設(shè)備提供無污染的超高真空環(huán)境，滿足納米級(jí)制造與量子態(tài)穩(wěn)定的嚴(yán)苛需求。
- 快速抽氣效率：優(yōu)化的葉片設(shè)計(jì)與磁懸浮軸承技術(shù)，顯著縮短達(dá)到目標(biāo)真空度的時(shí)間，提升設(shè)備整體運(yùn)行效率。
2.超高穩(wěn)定性和可靠性
- 全金屬密封結(jié)構(gòu)：杜絕有機(jī)物釋放污染，保障真空腔體的長(zhǎng)期潔凈度，尤其適用于半導(dǎo)體制造中對(duì)微粒控制敏感的工藝環(huán)節(jié)。
- 耐高溫與抗振動(dòng)設(shè)計(jì)：特殊合金材質(zhì)與主動(dòng)振動(dòng)抑制系統(tǒng)，確保在復(fù)雜工況下的連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行，MTBF（平均無故障時(shí)間）行業(yè)領(lǐng)先。
3. 智能化與節(jié)能特性
- 集成智能監(jiān)控系統(tǒng)：支持實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)真空度、溫度、轉(zhuǎn)速等參數(shù)，兼容工業(yè)4.0協(xié)議（如OPC UA），實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程診斷與預(yù)測(cè)性維護(hù)。
- 低能耗運(yùn)行：高效電機(jī)與變頻驅(qū)動(dòng)技術(shù)降低30%以上能耗，符合綠色制造與碳中和目標(biāo)。
4. 行業(yè)定制化兼容
- 適配多種真空腔體接口（如ISO-K/CF法蘭），可無縫集成至ASML、佳能等EUV光刻機(jī)，以及量子計(jì)算低溫超導(dǎo)系統(tǒng)。
行業(yè)應(yīng)用場(chǎng)景
1. EUV光刻機(jī)核心真空系統(tǒng)
- 為極紫外光刻提供無污染超高真空環(huán)境，保障光刻膠曝光精度與晶圓良率。
2. 量子計(jì)算機(jī)超導(dǎo)電路冷卻
- 維持稀釋制冷機(jī)極低溫環(huán)境所需的超高真空，減少熱噪聲對(duì)量子比特的干擾。
3. 科研級(jí)精密儀器
- 應(yīng)用于表面分析（如SEM/TEM）、核聚變實(shí)驗(yàn)裝置等對(duì)真空純凈度要求極高的場(chǎng)景。
愛德華渦輪分子泵憑借極限真空性能、超長(zhǎng)使用壽命與智能化管理，已成為高端制造業(yè)與科研領(lǐng)域的標(biāo)桿產(chǎn)品：
- 技術(shù)壁壘突破：10?1? mbar真空度助力EUV光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)5nm以下芯片量產(chǎn)，推動(dòng)摩爾定律延續(xù)。
- 全生命周期成本優(yōu)化：低維護(hù)需求與能耗節(jié)省顯著降低客戶TCO（總擁有成本）。
-全球服務(wù)網(wǎng)絡(luò)：愛德華提供24/7技術(shù)響應(yīng)與定制化真空解決方案，確?？蛻粼O(shè)備高效運(yùn)行。
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