產(chǎn)品詳情
光刻膠最基本的組成是有機(jī)溶劑中的一種聚合物溶液。日本HD旋轉(zhuǎn)伺服諧波FHA-40C-100-E250-BC光刻膠的物理特性包括分辨率、對(duì)比度、敏感度、粘滯性、粘附性、抗蝕性、表面張力、存儲(chǔ)與傳送特性、玷污和顆?？刂频取９饪棠z主要有兩個(gè)作用：將掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠上，在后續(xù)工藝中保護(hù)下面的材料。光刻膠適合于旋轉(zhuǎn)涂膠，硅片會(huì)持續(xù)旋日本HD旋轉(zhuǎn)伺服諧波FHA-40C-100-E250-BC轉(zhuǎn)涂膠直到硅片表面形成一層薄膜。光刻膠涂覆方法的四個(gè)基本步驟分別為滴膠、旋轉(zhuǎn)鋪開、旋轉(zhuǎn)甩掉多余膠、溶劑揮發(fā)。
硅片上光刻膠涂膠的厚度和均勻性是非常關(guān)鍵的質(zhì)日本HD旋轉(zhuǎn)伺服諧波FHA-40C-100-E250-BC量參數(shù)。光刻膠涂覆過程中主要技術(shù)參數(shù)為：滴膠量，約1~3CC；成膜厚度約1微米左右，厚度變化20-50?。硅片吸附在真空吸盤上，
