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半導體晶圓測試高低溫機:光刻工藝±0.1℃潔凈控溫

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詳細參數(shù)
品牌MAIPT邁浦特型號150A低壓
產品用途芯片光刻冷卻,晶圓鍵合溫度控制,蝕刻反應熱管理產品別名高低溫循環(huán)控制機,冷熱切換高低溫高低溫一體機
適用行業(yè)化工,制藥,新能源材料合成,石油,橡膠,樹脂反應規(guī)格尺寸溫度范圍-70℃~200℃,控溫精度,0.1℃
產地江蘇蘇州

產品詳情

邁浦特機械高低溫一體機針對半導體晶圓制造開發(fā),整合三通道熱管理架構

  • 潔凈循環(huán)系統(tǒng):全管路EP級拋光,導熱介質經0.1μm過濾,杜絕顆粒污染;
  • 相變緩沖技術:蒸發(fā)器內填充石蠟PCM(相變潛熱250kJ/kg),吸收±0.2℃瞬時波動
    10
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  • 冷熱物理隔離:制冷單元與加熱單元分離布局,避免相互干擾。
    ±0.1℃精度核心技術
  • MPC模型預測控制:建立壓縮機、閥門、負載的熱力學模型,滾動優(yōu)化功率輸出;
  • 冗余雙循環(huán)泵:主泵故障時0.1秒切換備用泵,流量波動<1%;
    在MOCVD鍍膜工藝中,晶圓表面溫差≤0.08℃,LED外延片良率提升15%

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