產(chǎn)品詳情
真空減速機(jī) - 高真空環(huán)境精密傳動(dòng)解決方案
產(chǎn)品概述
深空創(chuàng)想專為真空環(huán)境研發(fā)的特種減速機(jī)，采用超低出氣材料與全密封結(jié)構(gòu)，確保在10?3Pa及以上真空度環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行，實(shí)現(xiàn)潔凈、精準(zhǔn)的動(dòng)力傳輸。
核心技術(shù)
真空密封設(shè)計(jì)：全焊接殼體與磁流體軸封技術(shù)
- 低釋氣材料：不銹鋼齒輪與特種工程塑料組合
- 潔凈潤滑方案：固體潤滑或全氟聚醚真空潤滑脂
- 熱管理設(shè)計(jì)：優(yōu)化散熱結(jié)構(gòu)，適應(yīng)真空熱環(huán)境
性能參數(shù)
- 真空兼容性：10?3Pa～10??Pa工作范圍
- 出氣率控制：＜10?1? Pa·m3/s
- 工作溫度：-30℃～+120℃（可擴(kuò)展）
- 防護(hù)等級(jí)：IP65等效密封性能
- 傳動(dòng)精度：≤5弧分背隙（可選更高精度）
主要應(yīng)用場景
- 半導(dǎo)體制造：晶圓傳輸機(jī)械臂、真空閥門驅(qū)動(dòng)
- 真空鍍膜設(shè)備：基片旋轉(zhuǎn)臺(tái)、擋板傳動(dòng)機(jī)構(gòu)
- 科研儀器：電子顯微鏡樣品臺(tái)、真空分析設(shè)備
- 航天領(lǐng)域：空間環(huán)境模擬設(shè)備、真空測試裝置
選型建議
1. 環(huán)境評(píng)估
- 明確工作真空度等級(jí)
- 確認(rèn)環(huán)境溫度范圍
- 評(píng)估污染控制要求
2. 技術(shù)匹配
- 根據(jù)負(fù)載扭矩選擇規(guī)格
- 考慮安裝空間限制
- 確定連接接口形式
3. 特殊需求
- 是否需要烘烤功能
- 清潔度等級(jí)要求
- 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)需求
服務(wù)支持
- 提供真空環(huán)境性能測試報(bào)告
- 支持定制化設(shè)計(jì)與特殊認(rèn)證
- 專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)提供應(yīng)用指導(dǎo)
- 完善的售后服務(wù)體系
產(chǎn)品概述
深空創(chuàng)想專為真空環(huán)境研發(fā)的特種減速機(jī)，采用超低出氣材料與全密封結(jié)構(gòu)，確保在10?3Pa及以上真空度環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行，實(shí)現(xiàn)潔凈、精準(zhǔn)的動(dòng)力傳輸。
核心技術(shù)
真空密封設(shè)計(jì)：全焊接殼體與磁流體軸封技術(shù)
- 低釋氣材料：不銹鋼齒輪與特種工程塑料組合
- 潔凈潤滑方案：固體潤滑或全氟聚醚真空潤滑脂
- 熱管理設(shè)計(jì)：優(yōu)化散熱結(jié)構(gòu)，適應(yīng)真空熱環(huán)境
性能參數(shù)
- 真空兼容性：10?3Pa～10??Pa工作范圍
- 出氣率控制：＜10?1? Pa·m3/s
- 工作溫度：-30℃～+120℃（可擴(kuò)展）
- 防護(hù)等級(jí)：IP65等效密封性能
- 傳動(dòng)精度：≤5弧分背隙（可選更高精度）
主要應(yīng)用場景
- 半導(dǎo)體制造：晶圓傳輸機(jī)械臂、真空閥門驅(qū)動(dòng)
- 真空鍍膜設(shè)備：基片旋轉(zhuǎn)臺(tái)、擋板傳動(dòng)機(jī)構(gòu)
- 科研儀器：電子顯微鏡樣品臺(tái)、真空分析設(shè)備
- 航天領(lǐng)域：空間環(huán)境模擬設(shè)備、真空測試裝置
選型建議
1. 環(huán)境評(píng)估
- 明確工作真空度等級(jí)
- 確認(rèn)環(huán)境溫度范圍
- 評(píng)估污染控制要求
2. 技術(shù)匹配
- 根據(jù)負(fù)載扭矩選擇規(guī)格
- 考慮安裝空間限制
- 確定連接接口形式
3. 特殊需求
- 是否需要烘烤功能
- 清潔度等級(jí)要求
- 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)需求
服務(wù)支持
- 提供真空環(huán)境性能測試報(bào)告
- 支持定制化設(shè)計(jì)與特殊認(rèn)證
- 專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)提供應(yīng)用指導(dǎo)
- 完善的售后服務(wù)體系
深空創(chuàng)想專業(yè)真空減速機(jī)——在潔凈純凈環(huán)境中，提供穩(wěn)定可靠的精密傳動(dòng)，助力您的真空系統(tǒng)高效運(yùn)行。
