產(chǎn)品詳情
邁浦特機(jī)械高低溫一體機(jī)該設(shè)備采用全封閉壓縮機(jī)制冷與PID智能加熱技術(shù)，通過(guò)高效板式換熱器實(shí)現(xiàn)導(dǎo)熱介質(zhì)（如導(dǎo)熱油）的快速溫度切換。循環(huán)泵將介質(zhì)輸送至晶圓反應(yīng)釜夾套，在高溫階段（200℃）觸發(fā)化學(xué)反應(yīng)，低溫階段（-80℃）快速固化電路結(jié)構(gòu)，避免熱應(yīng)力損傷。密閉式管路設(shè)計(jì)配合膨脹容器，防止導(dǎo)熱油氧化或吸濕，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定性。智能系統(tǒng)實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)功率，支持程序化溫控曲線（5條程序×40步驟），適配半導(dǎo)體制造的復(fù)雜工藝需求
- 溫度范圍：-80℃~200℃
- 控溫精度：±0.1℃
- 制冷量：@-80℃ ≥9kW，@200℃ ≥38kW
- 電源：380V/50Hz
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通訊協(xié)議：RS485/TCP，支持遠(yuǎn)程監(jiān)控
