產(chǎn)品詳情
邁浦特機(jī)械高低溫一體機(jī)專為半導(dǎo)體芯片制造中對(duì)溫度極度敏感的工藝環(huán)節(jié)開(kāi)發(fā)。其工作原理基于全封閉的超純水循環(huán)系統(tǒng)與自適應(yīng)PID控制算法的深度融合。系統(tǒng)通過(guò)鈦合金管路和PFA內(nèi)襯輸送超純水，避免金屬離子污染；氮?dú)饷芊庀到y(tǒng)確保水質(zhì)純度。制冷單元采用多級(jí)壓縮機(jī)制冷，加熱單元采用低干擾的管道式加熱器。工作時(shí)，溫度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)反應(yīng)釜或工藝腔體內(nèi)的溫度，并將數(shù)據(jù)反饋至中央控制器?？刂破魍ㄟ^(guò)PID算法動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)制冷劑流量和加熱功率，例如在光刻過(guò)程中，需將光刻膠的溫度維持在22℃±0.005℃的極窄范圍內(nèi)，設(shè)備能快速抵消因曝光熱帶來(lái)的微小波動(dòng)，確保線寬均勻性。其集成振動(dòng)抑制模塊，有效隔離外部振動(dòng)，為EUV光刻機(jī)等高端裝備提供寧?kù)o的溫場(chǎng)
。整機(jī)運(yùn)行穩(wěn)定，據(jù)客戶反饋，芯片良品率可提升約10%
溫度范圍：-40℃ ~ +150℃
控溫精度：±0.1℃
制冷功率：5.5kW
循環(huán)系統(tǒng)：鈦合金主管路，氮?dú)饷芊?
